マスフローメータ／コントローラ
流速：20 SCCM〜10 SLM

FMA3100

マスフローメータ（質量流量計）|FMA3100|オメガエンジニアリング

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10 SLMまでの流量に対応
0 ～ 5 Vdc 線形出力
高いコストパフォーマンス

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商品説明

FMA3100マスフローメータ（質量流量計）は多くのOEMでの用途に適しています。0 ～ 5 Vdc 線形出力が標準です。

FMA3100熱質量流量計を使用しているため、FMA3200質量流量計はコンパクトでありながら気体流量の正確で安定した制御機能を備えています。電源オフ時には、流量制御バルブはリーク速度を最小限に抑えた状態で閉じています。費用対効果の高い、この流量計は多くのOEM用途に適しており、0 ～ 5 Vdc線形出力と0 ～ 5Vdc制御入力を備えています。

FMA3300はFMA3100の機能に対して、調整可能な3.5桁LCDデジタルディスプレイを組み合わせているので、流量を工学単位（mL/minまたはL/min）で見られます。この小型流量計は多くの研究室用途において定評があります。

仕様
汎用出力： 0～5 Vdc (最小 2500 Ω)
セットポイント入力電圧 (FMA3200のみ)：0～5 Vdc
精度： ±1.5% FS*
再現性： ±0.5% FS
応答速度：フルスケールの25～100%では2秒 (標準)～実際の流量の±2%
動作環境：10～50°C、結露しないこと
動作圧力範囲： 25°C で最大150 psi
温度係数： ±0.2% / °C
圧力係数： ±0.02% / psi
リークインテグリティ：外部環境に対しヘリウム最大1 x 10-4 SCCS
入力電力：
　FMA3100, FMA3300：12～15 Vdc、100 mA (1.5 W)
　FMA3200： 12～15 Vdc、250 mA (3.75 W)
接続： 1⁄8" コンプレッションフィッティング、流量範囲は最大1 L/min、1⁄4" コンプレッションフィッティング、流量範囲は最大5 L/min; 3⁄8" コンプレッションフィッティング、流量範囲は最大10 L/min
接液部材質：陽極酸化アルミニウム、FKM Oリング、304/316 SS、エポキシ、アセタールコンプセッションチューブフィッティングが標準
ターンダウン比： 10:1
適用気体：非常に清浄で乾燥した気体(例：空気、窒素、二酸化炭素、アルゴン、水素、ヘリウム、メタン、酸素)
濾過：気体に粒子状の物質が含まれている場合は、20ミクロンのフィルタが必要

FMA3200
差圧： 15～40 psi
バルブのサイクル寿命：バルブが通常閉じられている場合、100万サイクル以上
バルブからのリーク量：0.2 SCCMまたは2% FS以下のどちらか大きい方の値
制御範囲： 50:1
遠隔セットポイント電圧： 0～5 Vdc
重量：
　FMA3100： 199g
　FMA3300： 249g
　FMA3200： 386g
フィッティングなしのサイズ (概寸)：
　FMA3100：長さ47 x 幅26 x 奥行90 mm
　FMA3300：長さ47 x 幅26 x 奥行127 mm
　FMA3200：長さ81 x 幅26 x 奥行97 mm

装置を使用した時のみ、有効となります：
1. 温度範囲18 ～ 25℃
2. ウォームアップ時間：最短10 分
3. 安定化電源(12V ± 0.1V) 標準
4. 線形： 500 SCCM までは範囲の± 0.5%、500 SCCM 以上は± 1.0%
5. 精度範囲： 10 ～ 100%
6. ライン圧力はFMA3100とFMA3300 の場合、1 ～ 30 psi 、FMA3200 の場合、工場出荷時の設定
7. 工業用ガス ( 規格品) を使用

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部品番号/Desc.

注文数

商品説明

ディスプレイなし

FMA3101

¥92,796 (税込)
(税抜価格 ¥84,360)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜20 sccm

FMA3102

¥100,254 (税込)
(税抜価格 ¥91,140)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜50 sccm

FMA3103

¥111,854 (税込)
(税抜価格 ¥101,685)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜100 sccm

FMA3104

¥111,854 (税込)
(税抜価格 ¥101,685)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜200 sccm

FMA3105

¥114,646 (税込)
(税抜価格 ¥104,224)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜500 sccm

FMA3106

¥111,854 (税込)
(税抜価格 ¥101,685)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜1000 sccm

FMA3107

¥111,854 (税込)
(税抜価格 ¥101,685)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜2000 sccm

FMA3108

¥111,854 (税込)
(税抜価格 ¥101,685)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜5000 sccm

FMA3109

¥130,636 (税込)
(税抜価格 ¥118,760)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜10,000 sccm

ディスプレイあり

FMA3301

¥169,851 (税込)
(税抜価格 ¥154,410)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜20 sccm

FMA3302

¥179,790 (税込)
(税抜価格 ¥163,445)

納期: 2 週間

マスフローメータ、0〜50 sccm

FMA3303

¥188,628 (税込)
(税抜価格 ¥171,480)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜100 sccm

FMA3304

¥188,628 (税込)
(税抜価格 ¥171,480)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜200 sccm

FMA3305

¥188,628 (税込)
(税抜価格 ¥171,480)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜500 sccm

FMA3306

¥188,628 (税込)
(税抜価格 ¥171,480)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜1000 sccm

FMA3307

¥178,552 (税込)
(税抜価格 ¥162,320)

納期: 3 週間

マスフローメータ、0〜2000 sccm

FMA3308

¥188,628 (税込)
(税抜価格 ¥171,480)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜5000 sccm

FMA3309

¥208,791 (税込)
(税抜価格 ¥189,810)

納期: 8 週間

マスフローメータ、0〜10,000 sccm

コントローラ

FMA3202-(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ、0〜50 sccm

FMA3203-(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ、0〜100 sccm

FMA3204-(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ、0〜500 sccm

FMA3205-(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ、0〜5000 sccm

FMA3206-(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ、0〜10,000 sccm

注: * 気体、入口/出口圧力、温度を指定してください。
** 流量範囲は標準で乾燥気体または窒素のものです。追加費用で他の気体も選択可能 (二酸化炭素、ヘリウム、アルゴン、水素、メタン、酸素)。
4ポイントNIST校正証明書をご注文の場合は、追加型番"-NISTAIR"を加え、追加費用が発生します。

製品マニュアル:

ダウンロード FMA3100, 3100ST, 3300, 3300ST Series - Thermal Mass Flow Sensors and Meters

ダウンロード FMA3200, 3200ST, 3400, 3400ST Series - Thermal Mass Flow Controllers

ダウンロード FMA3100, 3100ST, 3300, 3300ST Series - Thermal Mass Flow Sensors and Meters

ダウンロード FMA3200, 3200ST, 3400, 3400ST Series - Thermal Mass Flow Controllers

ダウンロード FMA3100, 3100ST, 3300, 3300ST Series - Thermal Mass Flow Sensors and Meters

ダウンロード FMA3200, 3200ST, 3400, 3400ST Series - Thermal Mass Flow Controllers

マスフローメータ／コントローラ 流速：20 SCCM〜10 SLM

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