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計測・制御機器総合メーカー

マスフローコントローラ
流速:10 SCCM〜100 SLM

FMA5400A / 5500A

マスフローコントローラ、10 SCCM〜100 SLM | OMEGA | FMA5400A / 5500A

マスフローコントローラ、10 SCCM〜100 SLM | OMEGA

スクロールダウンし、全ラインアップをご覧ください

  • NIST校正証明書付
  • 温度や圧力補償なしで気体質量流量を測定・制御に
  • 低価格なアルミニウムまたは耐腐食性 316 SS
  • LCDディスプレイは傾けても読み取り可能
質量流量計 (マスフローメータ) - 関連する商品を探す
(見つからない場合はカスタマーサービスにご連絡ください)

商品説明

FMA5400A/5500A マスフローメータを使用することで、10 SCCM ~ 100 SLMの範囲で幅広い種類の気体の流量を調節できます。加熱管を通した熱伝導を利用することで、FMA5400A/5500Aは、気体温度または圧力を校正することなく、気体質量流量を直接測定します(表示範囲内)。標準的な気体流量に適した低価格なアルミニウム/真鍮、また耐腐食性が求められる用途に適した316 SSがあります。

一体型ディスプレイを持たないFMA5400Aマスフローメータは、遠隔モニター用にアナログ0~ 5 Vdcと4 ~20 mA 出力の両方を備えています。FMA5500A マスフローメータは一体型31/2桁ディスプレイとアナログ出力を備えています。ディスプレイは読みやすいように90°傾けられます。直接測定するために、窒素に対してSCCMまたはSLM単位で校正します(他の気体の校正も特別注文できます)。

FMA5400A/5500A マスフローメータは、出入口の圧力に関係なく一定の流量を保つために内蔵式電磁バルブを備えています。セットポイントはケースのウィンドウからアクセスできるポテンショメータによってローカルで調整することも、アナログ0 ~ 5 Vdcまたは4 ~20 mA信号(現場調整可能)でリモートで調整することもできます。

FMA5400A/5500A マスフローメータは最大12 ~26 Vdc @800 mAの電源を必要とし、FMA545PW壁プラグインソケット電源で供給されます。電子装置は逆極性保護とリセット可能ヒューズを備えています。型番FMA545C(別売)は組み合わせ15ピン「D」コネクタ、アナログ出力信号と電源入力接続用の2.4 mのシールドケーブルを備えています。FMA5500AのLCDはモジュラープラグで低電力電子製品に接続します。LCDはFMA18RC遠隔ケーブルアセンブリをお求めいただくと離れた場所に設置できます。その場合、お客様自身でLCD搭載パネルを組み立てる必要があります。

仕様
精度: 15 ~ 25°C かつ0.7 ~ 4.2 KG/CM2 (0.7 ~ 4.1 BAR) で± 1.5% FS(リニアを含む )
反復率:± 0.5% FS
温度係数:0.15% FS/°C
圧力係数:0.01% FS/PSI (0.07 BAR)
最大圧力低下:3.4 BAR
応答速度:25 ~ 100% FS では5 秒~設定、流量の± 2% 以内
最大気体圧力:34 BAR( ゲージ圧 35 KG/CM2 )、100 SLM までの範囲では69 BAR(ゲージ圧 70 KG/CM2)、最適 1.7 BAR( 1.76 KG/CM)
気体、周囲温度:5 ~ 50°C
リークインテグリティ:外部環境に対しヘリウムが最大1 X 10-7 STD CC /秒
接液部材質:
アルミニウムモデル:陽極酸化アルミニウム、316 SS、真鍮、FKM O リング
ステンレス鋼モデル:316 SS、FKM O リング
出力信号:
 リニア 0 ~ 5 VDC:最小負荷1000 Ω
 4~20 MA: ループ抵抗50 ~ 500 Ω、最大ノイズ± 20 MV
トランスデューサー電源:標準12 ~ 26 VDC @ 800 MA
ターンダウン比:40:1
出荷時の重量:1.8 KG
コンプライアンス:EN55011 クラス1、クラスB、EN50082-1
姿勢感度:水平流量経路、+20 度ピッチまで校正シフトなし
気体相対湿度:0 ~ 70% RH
注文する (部品番号ビルダーより掲載以外の製品もご選択いただけます)(注文数を入力の上、"カートに追加"をクリックしてください)
部品番号/Desc.
注文数
商品説明
部品番号ビルダーよりご注文ください
このサイトの金額はすべて日本円(税抜)で表示しています
注: * コンプレッションフィッティングの代わりに3⁄4 FNPT接続が付属しています。
コンプレッションフィッティング、取扱説明書、NIST証明書が付属しています。電源は別売り。
表示の流量は入力圧力20 psig (最大50 SLM)、入力圧力25 psig(60~100 SLM)、出力圧力0 psigでの窒素または空気に対してのものです。他の気体を使用する場合は、流量を求めるのに増倍係数を使用し、デジタル表示器は現場でスケール変更する必要があります。
校正を特注する場合は気体の略号と入口圧力/出口圧力を型番の最後に加えてください。
校正は周囲温度20ºC でのみ実施。
酸素洗浄装置をご注文の場合は、型番に「-C」を追加してください。追加費用が発生します。

部品番号ビルダー

下記から仕様構成を選択し、ご注文ください
以下からオプションを選択:


(1) ディスプレイ :
FMA54 : あり
FMA55 : なし

(2) 最大流速 :
02 : 10 SCCM
04 : 20 SCCM
06 : 50 SCCM
08 : 100 SCCM
10 : 200 SCCM
12 : 500 SCCM
14 : 1 SLM
16 : 2 SLM
18 : 5 SLM
20 : 10 SLM
23 : 15 SLM
24 : 20 SLM
26 : 30 SLM
27 : 40 SLM
28 : 50 SLM
40 : 60 SLM
41 : 80 SLM
42 : 100 SLM

(3) ボディ :
オプション選択がない場合 : アルミニウム/真鍮
-ST : 316 SS
注: 有効な部品番号については、「商品仕様(PDF)」を参照ください。
ご不明な場合は、カスタマーサービス(0120-040-572 もしくは esales@jp.omega.com)へお問合せください。